表面图案化和使用受控沉淀式生长的通孔制造
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要

本发明涉及一种表面图案化和使用受控沉淀式生长的通孔制造的工艺,以及通过根据本发明的这样的工艺制备的图案化衬底。根据本发明的工艺包括提供包含至少一个表面的衬底,在该表面上需要将材料图案化,上述表面包括具有不同表面特性的至少第一和第二表面区域,其中进一步在第一表面区域上提供保护沉淀式生长,并且对至少第二表面区域应用至少一种材料,使得或者基本不对第一表面区域提供应用材料,或者如果对第一表面区域提供应用材料,可从第一表面区域选择性去除应用材料。

基本信息
专利标题 :
表面图案化和使用受控沉淀式生长的通孔制造
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN101084469A
申请号 :
CN200580043645.2
公开(公告)日 :
2007-12-05
申请日 :
2005-12-12
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
D·布丁斯基
申请人 :
皇家飞利浦电子股份有限公司
申请人地址 :
荷兰艾恩德霍芬
代理机构 :
永新专利商标代理有限公司
代理人 :
王英
优先权 :
CN200580043645.2
主分类号 :
G03F7/00
IPC分类号 :
G03F7/00  C30B7/00  
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F7/00
图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备
法律状态
2011-01-12 :
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101061480119
IPC(主分类) : G03F 7/00
专利申请号 : 2005800436452
公开日 : 20071205
2008-02-20 :
实质审查的生效
2007-12-05 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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