沉积系统以及用于测量沉积系统的沉积厚度的方法

专利申请权、专利权的转移

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摘要

一种测量沉积材料的沉积厚度的方法，包括利用传感器测量从喷射室喷射的材料的沉积率，以及利用采用所测量的沉积率和传感器的使用时间的寿命值作为参数的转化公式计算沉积在基板上的材料的沉积厚度。

基本信息

专利标题：

沉积系统以及用于测量沉积系统的沉积厚度的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN1824829A

申请号：

CN200610000429.6

公开（公告）日：

2006-08-30

申请日：

2006-01-05

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

黄珉婷李星昊

申请人：

三星SDI株式会社

申请人地址：

韩国京畿道

代理机构：

北京德琦知识产权代理有限公司

代理人：

罗正云

优先权：

CN200610000429.6

主分类号：

C23C14/54

IPC分类号：

C23C14/54 C23C16/52 H01L21/205 H01L51/56 G05D5/02

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/54

镀覆工艺的控制或调节

法律状态

2012-11-21 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101465546576
IPC(主分类) : C23C 14/54
专利号 : ZL2006100004296
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更后权利人 : 三星显示有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
登记生效日 : 20121018

2010-01-20 ：

授权

2009-02-11 ：

专利申请权、专利权的转移(专利申请权的转移)

变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 三星SDI株式会社
变更后权利人 : 三星移动显示器株式会社
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 韩国京畿道
变更后权利人 : 韩国京畿道
登记生效日 : 20090109

2006-10-25 ：

实质审查的生效

2006-08-30 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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