一种散热装置，其包括壳体及盖部，所述壳体及所述盖部分别具有对应的凹部以形成具有负压的密闭空间，所述密闭空间的内部注入有热传导介质，在所述壳体及盖部相对应的凹部中，分别在多个定点位置形成有多个相对应的凸柱，在所述凹部的内部表面及凸柱表面上形成粗糙面；所述散热装置还包括金属箔，所述金属箔具有对应于上述内部空间的尺寸，并介于所述壳体及盖部之间，在所述金属箔的表面上形成粗糙面，并具有多个镂孔形成网状，网的交点对应于所述凸柱的多个定点，所述金属箔与所述空间的底部之间保持有一毛细间隙。本发明同时提供制造所述散热装置的方法，通过蚀刻方式在非高温环境中制造所述散热装置，容易量产且成本低。