MEMS高温压力传感器自动键合方法
专利权的终止
摘要
本发明提供的是一种MEMS高温压力传感器自动键合方法。它选择由台面、设置在台面上的物流台、操作手、加热炉和显微镜组成的自动键合机进行自动键合；自动键合机的操作手安装在由4个轴控制的4自由度操作手工作台上，加热炉安装在由2个轴控制的2自由度定位工作台上，显微镜安装在包括可上下运动的轴的显微镜自动调焦工作台上。本发明基于显微视觉的高精度、非接触式测量，实现了不论是正面还是反面MEMS高温压力传感器的高精度对准作业；融合视觉/微力觉信息，实现芯片和玻璃基的高精度、无损抓取和搬运；设备的高自动化程度使得其具有批量制造能力，提高了生产效率。
基本信息
专利标题 ：
MEMS高温压力传感器自动键合方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1834601A
申请号 ：
CN200610009745.X
公开（公告）日 ：
2006-09-20
申请日 ：
2006-02-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
谢晖荣伟彬孙立宁陈立国
申请人 ：
哈尔滨工业大学
申请人地址 ：
150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
代理机构 ：
哈尔滨市哈科专利事务所有限责任公司
代理人 ：
祖玉清
优先权 ：
CN200610009745.X
主分类号 ：
G01L1/00
IPC分类号 ：
G01L1/00 G01L9/00 H01L21/60 H01L21/68 H01L21/677 B81C3/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
法律状态
2012-05-02 ：
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件序号 : 101234511650
IPC(主分类) : H01L 21/60
专利号 : ZL200610009745X
申请日 : 20060227
授权公告日 : 20080227
终止日期 : 20110227
号牌文件类型代码 : 1605
IPC(主分类) : H01L 21/60
专利号 : ZL200610009745X
申请日 : 20060227
授权公告日 : 20080227
终止日期 : 20110227
号牌文件类型代码 : 1605
2008-02-27 ：
授权
2006-11-22 ：
实质审查的生效
2006-11-08 ：
实质审查的生效
2006-09-20 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
