真空等离子体发生器
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摘要
本发明涉及一种真空等离子体发生器(1，1a，60)，用于处理真空室(17)中的工件，包括：电源连接端(2)，用于连接到电压供应网络；至少一个电源整流器(3)，其连接到至少一个第一转换器(4，4a)，用于产生至少一个中间电路电压；第一射频信号发生器(6，7，20，40，50)，其连接到该至少一个中间电路电压，用于产生具有基频和第一相位位置的第一信号，该第一信号尤其是在1至30MHz范围内；第二射频信号发生器(6，7，20，40，50)，其连接到中间电路电压，用于产生具有基频和第二相位位置的第二信号；至少一个3dB耦合器(13，77－91)，用于将该第一和第二信号耦合成输出信号，并将该输出信号间接或直接传送到发生器输出端(14，92)。
基本信息
专利标题 ：
真空等离子体发生器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN1832657A
申请号 ：
CN200610058962.8
公开（公告）日 ：
2006-09-13
申请日 ：
2006-03-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
米夏埃多·格吕克克里斯托夫·霍夫施泰托尔格尔德·欣茨
申请人 ：
许廷格电子有限及两合公司
申请人地址 ：
德国弗赖堡
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
王英
优先权 ：
CN200610058962.8
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
法律状态
2008-08-06 ：
授权
2006-11-08 ：
实质审查的生效
2006-09-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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