硅微机械自谐振传感装置

专利权的终止

摘要

一种硅微机械自谐振传感装置，包括光源，沿光源发射光前进方向同光轴地依次置放通过保偏光纤与光源连接的准直器、偏振变换器、参考平板与谐振器。光源为半导体激光器。光源的工作电流通过直流电源控制，使得光源的光注入光强调制度最大，光源的输出光强与谐振器的形变相互影响，动态变化，使得谐振器达到自谐振状态。本实用新型装置的优点是不需要高精度的F－P干涉腔，不易受外界干扰，不需要特殊装置稳定谐振状态，容易实现自谐振。

基本信息

专利标题：

硅微机械自谐振传感装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620041243.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-04-21

授权号：

CN2890992Y

授权日：

2007-04-18

发明人：

刘英明王向朝

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800上海市800－211邮政信箱

代理机构：

上海新天专利代理有限公司

代理人：

张泽纯

优先权：

CN200620041243.0

主分类号：

G02F1/35

IPC分类号：

G02F1/35 G02F1/00 G02B6/42