本实用新型涉及一种长寿命离子源加热电子枪灯丝固定装置，属于半导体器件制造领域，针对现有长寿命离子源技术中加热电子枪灯丝长期工作时容易发生热变形和移位缺点，提出一种长寿命离子源加热电子枪灯丝固定装置，在一陶瓷绝缘块上连接一U型装置，其U型装置两直线段为左右灯丝固定杆，其上分别设置有连接两灯杆引线的两个灯杆连接孔，所述左右灯丝固定杆另一端设置有左右两个灯丝压片并通过左右两个灯丝固定螺钉将灯丝稳定可靠地连接在左右灯丝固定杆两端，与左右灯丝固定杆构成一体，该装置具有抗热变形、抗高温耐腐蚀性好，结构连接简单，操作方便，长期工作稳定可靠，有效解决了灯丝长期工作时热变形移位问题，实现离子源的长使用寿命要求。