本实用新型涉及一种离子注入机长寿命离子源的放电弧室结构，属半导体器件制造领域，针对原有离子源弧室工作一段时间后因高温热膨胀效应及气体腐蚀作用导致各金属板间连接会产生移位变化问题，提出一种长寿命离子源的放电弧室结构，其为一四方形整体结构，包括一弧室腔体壁包围的弧室空腔，有一个反射极连接孔、一个间热式阴极通过孔分别从两侧水平方向穿过弧室腔体壁与弧室空腔连通，二个固态原料蒸气送气孔和一个气体原料送气孔从纵向连通到弧室空腔内，弧室腔体壁四周还对称设置有四个拉杆连接孔、四个弧室固定孔、二个引出板固定孔，采用整体结构设计紧凑简单，不因热变形和高温气体腐蚀作用而产生结构变化，保证离子源长期工作稳定可靠。