长工作距干涉显微镜
专利权的终止
摘要

本实用新型公开了一种长工作距干涉显微镜,包括:起偏器、分束器、长工作距显微镜和由两个光轴互相垂直的双折射直角棱镜粘合而成的渥拉斯顿棱镜,光源经过所述起偏器形成线偏振光,并经所述分束器反射后再通过所述渥拉斯顿棱镜,将入射线偏振光分成两束具有微小夹角并且振动方向互相垂直的线偏振光,该两束光投射到被测量样品上,从被测量样品表面反射回的两束正交线偏振光经原路返回,由所述渥拉斯顿棱镜重新复合共线,并经过一四分之一波片形成椭圆偏振光,再经过一检偏器后形成偏振方向相同的线偏振光。本实用新型对机械振动、空气扰动、以及温度变化等外界环境不敏感,其垂直测量分辨率达到50个纳米量级,具有50mm的工作距离。

基本信息
专利标题 :
长工作距干涉显微镜
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620117767.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-06-21
授权号 :
CN200969000Y
授权日 :
2007-10-31
发明人 :
段俐康琦胡良阿燕于泳
申请人 :
中国科学院力学研究所
申请人地址 :
100080北京市海淀区北四环西路15号
代理机构 :
北京中创阳光知识产权代理有限责任公司
代理人 :
尹振启
优先权 :
CN200620117767.3
主分类号 :
G02B21/00
IPC分类号 :
G02B21/00  G01B9/02  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B21/00
显微镜
法律状态
2012-08-29 :
专利权的终止
未缴年费专利权终止号牌文件类型代码 : 1605
号牌文件序号 : 101317516174
IPC(主分类) : G02B 21/00
专利号 : ZL2006201177673
申请日 : 20060621
授权公告日 : 20071031
终止日期 : 20110621
2007-10-31 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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