本实用新型属于短波段成像光学领域，具体的说是一种极紫外成像光学仪器成像质量测试装置。在本实用新型中设计了如图所表示的检测装置，整个光学系统均处于真空条件下，极紫外光源发出极紫外光束经过精密刻画的金属栅网后，打到反射镜和，最后经过待测极紫外成像光学系统在极紫外相机上成像，金属栅网的网格尺度与所成的像进行比较，经过计算即可得到待测光学系统的分辨率数据。本实用新型的有益效果为：提供了一种结构简单、性能可靠能够对极紫外成像光学仪器成像质量进行测试的装置。