平行板电容驱动的微结构扭转疲劳实验装置
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
摘要
本实用新型涉及一种平行板电容驱动的微结构扭转疲劳实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有三个电极，驱动电极(1)接交流电，通过该电极的底电极层与第一悬置平板(9)构成平行板电容驱动器，实现对悬置平板的垂直驱动。电极(2)的底电极层与第二悬置平行板(10)构成平行板电容传感器，通过外接振幅检测电路来获得实验过程中悬置平板与底电极之间间距的变化。第三个电极(11)接地。试样(7、8)为一个处在平板中轴线上的悬臂梁，其一端与固定块相连，另一端在悬置平板的带动下受到扭力作用。该装置具有加工简单，操作方便，容易获取真实实验数据，真实模拟MEMS构件的扭转应力环境等特点。
基本信息
专利标题 ：
平行板电容驱动的微结构扭转疲劳实验装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620158418.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-11-10
授权号 ：
CN200975967Y
授权日 ：
2007-11-14
发明人 ：
尚德广贾冠华李立森王瑞杰孙国芹邓静刘豪
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
100022北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈波
优先权 ：
CN200620158418.6
主分类号 ：
G01N3/22
IPC分类号 ：
G01N3/22 G01N3/08 G01M19/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/18
••在高温或低温下进行试验
G01N3/22
施加稳定的扭力
法律状态
2009-06-24 ：
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
放弃生效日 : 2009610
2007-11-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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