平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
摘要
本实用新型是平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置通过两个平行板电容驱动器(3、12)分别实现对疲劳试样(5)的弯曲和扭转驱动。疲劳试样5一端与接地电极(4)连接，另一端与第三平行板电容驱动器(12)的上极板连接。试样(5)中部的与其垂直的横梁的一端与第一平行板电容驱动器(3)的上极板相连，另一端与平行板电容传感器的上级板相连，平行板电容传感器的下极板通过检测电极接外部振幅检测电路从而实时的获得试样的振动幅度。本实用新型采用两个平行板电容驱动器分别对试样进行弯曲和扭转驱动，并且互不影响，客服了现有装置只能模拟MEMS构件单相应力工作环境的不足。
基本信息
专利标题 ：
平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200620158421.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2006-11-10
授权号 ：
CN200975966Y
授权日 ：
2007-11-14
发明人 ：
尚德广贾冠华李立森王瑞杰孙国芹邓静刘豪
申请人 ：
北京工业大学
申请人地址 ：
100022北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 ：
北京思海天达知识产权代理有限公司
代理人 ：
沈波
优先权 ：
CN200620158421.8
主分类号 ：
G01N3/20
IPC分类号 ：
G01N3/20 G01N3/08 G01M19/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N3/18
••在高温或低温下进行试验
G01N3/20
施加稳定的弯曲力
法律状态
2009-08-05 ：
其他有关事项(避免重复授权放弃专利权)
放弃生效日 : 2009729
2007-11-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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