利用间接光电效应来测试电气元件的方法
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明是关于一种通过至少一个电子放电电极(22)、至少一个电子收集电极(22)、以及至少一个粒子射束(BI)的来源来测试或测量电气元件(10、11、13)的方法，其中包含：通过该粒子射束弹射出该放电电极(22)中的电子，并且将该放电电极所供应的电子注入元件(10、11、13)之中；以及通过该粒子射束弹射出元件(10、11、13)中的电子，并且由该收集电极来收集从该元件中被弹射出的电子。根据本发明，从该放电电极(22)中弹射出电子包含于该放电电极上施加因入射粒子射束(BI)于至少一个元件上反射所造成的反射粒子射束(BR)。其优点如下：简化将电子注入元件中的步骤，并且简化上述放电与收集电极的结构。
基本信息
专利标题 ：
利用间接光电效应来测试电气元件的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101116001A
申请号 ：
CN200680003263.1
公开（公告）日 ：
2008-01-30
申请日 ：
2006-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
克里斯多弗·沃彻真倪－杰克·亚伯特
申请人 ：
法商柏奈德公司
申请人地址 ：
法国波度尔市
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
张春媛
优先权 ：
CN200680003263.1
主分类号 ：
G01R31/308
IPC分类号 ：
G01R31/308
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
G01R31/08
探测电缆、传输线或网络中的故障
G01R31/14
所用的电路
G01R31/308
使用非电离电磁辐射，如光辐射
法律状态
2011-01-26 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101063319069
IPC(主分类) : G01R 31/308
专利申请号 : 2006800032631
公开日 : 20080130
号牌文件序号 : 101063319069
IPC(主分类) : G01R 31/308
专利申请号 : 2006800032631
公开日 : 20080130
2008-04-23 ：
实质审查的生效
2008-01-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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