测试或测量电气元件的方法及系统
发明专利申请公布后的视为撤回
摘要
本发明涉及一种为以测试或测量电气元件的方法，其中将一粒子束(6)经施加于电气元件(2、3)的位置；在施加上述这些粒子束(6)的效应下释放出电荷；由一收集器(9)收集所释放的电荷；测量所收集的电荷值；并且自所收集电荷值的测量结果推导出该电气元件的电气特性。本发明特别是适用于印刷电路的电阻及/或电容测量作业，并且适用于任何型态之基体，像是平面屏幕、配备以各构件之电路，以及半导体芯片。
基本信息
专利标题 ：
测试或测量电气元件的方法及系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101116000A
申请号 ：
CN200680003804.0
公开（公告）日 ：
2008-01-30
申请日 ：
2006-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
迪拉布格·吉瑞
申请人 ：
法商柏奈德公司
申请人地址 ：
法国波度尔市
代理机构 ：
北京连和连知识产权代理有限公司
代理人 ：
王光辉
优先权 ：
CN200680003804.0
主分类号 ：
G01R31/305
IPC分类号 ：
G01R31/305 G01R31/308
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/00
电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置；在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L21/66；线路传输系统的测试入H04B3/46）
G01R31/08
探测电缆、传输线或网络中的故障
G01R31/14
所用的电路
G01R31/305
采用电子束
法律状态
2010-08-25 ：
发明专利申请公布后的视为撤回
号牌文件类型代码 : 1603
号牌文件序号 : 101007037716
IPC(主分类) : G01R 31/305
专利申请号 : 2006800038040
公开日 : 20080130
号牌文件序号 : 101007037716
IPC(主分类) : G01R 31/305
专利申请号 : 2006800038040
公开日 : 20080130
2008-04-02 ：
实质审查的生效
2008-01-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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