固体摄像元件及其制造方法
授权
摘要
一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具备二维配置在半导体基板上的光电变换元件、和由对应于各个该光电变换元件配设在上述半导体基板上的多个颜色的过滤器图案构成的滤色器。多个颜色的过滤器图案通过依次构图多个滤色器层而形成。利用干式蚀刻形成多个颜色的过滤器图案中的至少最初形成的过滤器图案，其余的过滤器图案利用光刻形成。
基本信息
专利标题 ：
固体摄像元件及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101116186A
申请号 ：
CN200680004532.6
公开（公告）日 ：
2008-01-30
申请日 ：
2006-02-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
绪方启介福吉健藏石松忠中尾充宏北村智史
申请人 ：
凸版印刷株式会社
申请人地址 ：
日本东京都
代理机构 ：
永新专利商标代理有限公司
代理人 ：
陈英俊
优先权 ：
CN200680004532.6
主分类号 ：
H01L27/14
IPC分类号 ：
H01L27/14 G02B5/20 H04N9/07
法律状态
2009-08-26 ：
授权
2008-03-19 ：
实质审查的生效
2008-01-30 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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