靶的制造方法

授权

摘要

本发明安全添加在大气中易于起火的添加物来便宜地制作靶。在低氧环境气体中，往主材料中添加添加物，形成熔融状态的一次合金13，在大气环境中往熔融状态的一次合金13中添加主材料进行增量，制作二次合金。熔融或固体状态的一次合金13、18是稳定的，因此在大气中不起火。一次合金13、18比二次合金量少，因此用于形成一次环境气体的真空槽11为小型的即可。

基本信息

专利标题：

靶的制造方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN101133181A

申请号：

CN200680006500.X

公开（公告）日：

2008-02-27

申请日：

2006-03-03

授权号：

暂无

授权日：

暂无

发明人：

太田淳杉浦功谷典明松本昌弘片桐弘明增田忠石桥晓伊藤隆治

申请人：

株式会社爱发科;爱发科材料股份有限公司

申请人地址：

日本神奈川县

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司

代理人：

熊玉兰

优先权：

CN200680006500.X

主分类号：

C23C14/34

IPC分类号：

C23C14/34 H01L21/285 C22C1/02

IPC结构图谱

C部——化学；冶金

C23

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制

C23C

对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆

C23C14/00

通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆

C23C14/22

以镀覆工艺为特征的

C23C14/34

溅射

法律状态

2012-01-25 ：

授权

2011-01-05 ：

专利申请权、专利权的转移

专利申请权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101058406866
IPC(主分类) : C23C 14/34
专利申请号 : 200680006500X
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 株式会社爱发科
变更后权利人 : 株式会社爱发科
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 日本神奈川县
变更后权利人 : 日本神奈川县
变更事项 : 共同申请人
变更前权利人 : 爱发科材料股份有限公司
变更后权利人 : 无
登记生效日 : 20101124

2008-04-23 ：

实质审查的生效

2008-02-27 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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