修正激光处理系统中的系统误差的方法
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摘要
一种在三个维度上校正激光微加工系统(20)的方法，其包含：扫描(70)样本工件(22)以决定3D表面；按一系列步骤计算出(72、74、76、78、80、82)对于该扫描数据的最佳拟合表面；以及储存(84)此结果，因而可对后续工件进行校正，以移除由相关的材料处置子系统内的偏差所引入的系统误差。该方法可视需要利用平板弯折理论以将粒子污染模型化，并利用样条函数以片段方式拟合该3D表面，以最小化局部偏差对整个表面拟合的影响。
基本信息
专利标题 ：
修正激光处理系统中的系统误差的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101142049A
申请号 ：
CN200680008802.0
公开（公告）日 ：
2008-03-12
申请日 ：
2006-02-15
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
S·N·斯瓦林根K·布鲁兰德A·韦尔斯
申请人 ：
电子科学工业公司
申请人地址 ：
美国俄勒冈州
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵蓉民
优先权 ：
CN200680008802.0
主分类号 ：
B23K26/00
IPC分类号 ：
B23K26/00 G06F19/00
相关图片
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B23
机床；其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工，例如焊接、切割、或打孔
法律状态
2010-10-06 ：
授权
2008-03-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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