本实用新型公开了一种硅料清洗装置中的酸洗槽，包括用于放置液体和工件的槽体，所述的槽体上口部设置有惰性气体的风刀，风刀的宽度不小于槽体的是上口部，槽体的底部通过管道和阀门分别与酸溶液储液槽、漂洗溶液储液槽相连通，惰性气体风刀对称设置在槽体的两侧面，所述的槽体底部设置有一出液管道，该出液管道通过三通后分别与酸溶液储液槽、漂洗溶液储液槽相连通，且在两分支管道上分别设置有控制阀门，其优点是：消除了硅料在酸性溶液中清洗后出现的硅料表面二次氧化的难题，对提高硅料纯度有着明显的效果。