一种硅料的清洗方法

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摘要

本发明公开了一种硅料的清洗方法，使用的装置包括驱动机构、用于带动硅料上下移动浸入酸液中的升降机构、机座，所述驱动机构位于所述机座上侧，所述升降机构位于所述机座顶部，还包括清洗机构、联动机构和喷淋机构。本发明通过第二齿圈来带动酸洗筒逆时针转动，同时通过第一齿圈来带动清洗筒进行顺时针转动，从而间接的提高了酸洗液流过清洗筒内的硅料表面的速度，继而来提高清洗效率，利用隔膜泵来将酸洗筒内的酸液泵送到U型管内，利用喷淋管上的喷头来将酸液冲刷到清洗筒内的硅料上，从而可以彻底的对硅料外侧进行冲刷清洗。

基本信息

专利标题：

一种硅料的清洗方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN112808683A

申请号：

CN202011613503.8

公开（公告）日：

2021-05-18

申请日：

2020-12-30

授权号：

CN112808683B

授权日：

2022-06-10

发明人：

钱诚夏振杨洋

申请人：

江苏亚电科技有限公司

申请人地址：

江苏省泰州市姜堰区三水街道科技路199号

代理机构：

北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

陈平

优先权：

CN202011613503.8

主分类号：

B08B3/08

IPC分类号：

B08B3/08 B08B3/02 B08B3/10 B08B13/00