本发明提供一种硅料处理装置、硅棒生产设备和硅料处理方法。硅料处理装置包括：进料组件，用于传输硅料，所述进料组件包括沿传输方向依次设置的上料区、扫描区和装料区，其中，待传输的硅料在所述上料区添加至所述进料组件；扫描组件，对应所述扫描区设置，所述扫描组件用于采集位于所述扫描区的硅料的硅料信息，所述硅料信息包括硅料的形状特征和尺寸特征中的一项或多项；控制器，与所述扫描组件连接，所述控制器用于根据所述硅料信息生成装料策略；装料组件，对应所述装料区设置，所述装料组件用于根据所述装料策略将位于所述装料区的硅料移动至目标位置。本发明实施例而能够更加稳定的实现硅液的供给，降低了拉晶工序中，硅棒断线的可能性。