本实用新型提供一种晶圆定位装置，其与机台相配合，机台内部设有测量平台，其中，该装置包括与机台相配合的底座，承载晶圆的承载台以及连接底座和承载台的支撑部；承载台与底座平行设置，该承载台包括多个承载部，这些承载部依次错层分布，以适用于各种尺寸晶圆放置。与现有技术相比，本使用新型的晶圆定位装置通过底座与机台配合，支撑部与机台紧密接触，以及晶圆恰好置入相应尺寸的承载部来确保晶圆正好位于机台中测量平台的中心，有效避免了由于晶圆不在测量平台的中心造成的测量偏差，提高了测量的成功率，不仅缩短了生产时间，还降低了生产成本。