光学镀膜多位比较片换位控制装置

专利权的终止

摘要

本实用新型涉及一种光学镀膜多位比较片换位控制装置。它是由机械换位和自动控制两部分构成，机械换位具有一个固定在镀膜蒸镀腔的顶部的连接法兰盘，法兰盘的上端装有步进电机，下端装有伸入镀膜蒸镀腔内的工位内筒，筒内设置有比较片换位机构；自动控制部分包括可编程逻辑控制器、驱动器、编码器、显示器和转换电路，通过该装置，可使镀膜监控系统的比较片能够容纳和切换更多的监控光点，实现十几位或几十位比较片的自动换位，并能提高比较片的换位速度及准确性，达到提高镀膜效率及膜厚精度的实用效果。

基本信息

专利标题：

光学镀膜多位比较片换位控制装置

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200720089570.8

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2007-02-27

授权号：

CN201069472Y

授权日：

2008-06-04

发明人：

党亚军张兰赵升林菊池和夫

申请人：

河南中光学集团有限公司

申请人地址：

473000河南省南阳市工业路508号河南中光学集团有限公司

代理机构：

郑州联科专利事务所

代理人：

张晓萍

优先权：

CN200720089570.8

主分类号：

G02B1/10

IPC分类号：

G02B1/10 G05B19/02