特种工件辅助镀膜的自动控制生产线
授权
摘要
本发明实施例公开了一种特种工件辅助镀膜的自动控制生产线，至少包括由前向后延伸的下平台、及设于下平台上的四工位平移升降装置；在第一反向接料状态，四工位平移升降装置沿下平台向前移动至与真空镀膜设备相对的位置，上层传动平台先后反向传动，以反向接收从真空镀膜设备的工艺室先后反向输出的放置于基片架上的两待静放工件；下层传动平台向上升起后先后反向传动，以反向接收从真空镀膜设备的静放室先后反向输出的放置于第二基片架上的两待翻转工件。本发明实施例，通过辅助镀膜的自动控制生产线，至少可以与真空镀膜设备实现自动化无缝对接，从而可一次自动接收四个工件，有利于实现工件镀膜全自动化处理，自动化程度高。
基本信息
专利标题 ：
特种工件辅助镀膜的自动控制生产线
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111621766A
申请号 ：
CN202010322695.0
公开（公告）日 ：
2020-09-04
申请日 ：
2020-04-22
授权号 ：
CN111621766B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
徐从高姜翠宁
申请人 ：
广东生波尔光电技术有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市板芙镇深湾村街上队“牛长岭”三号(一层301座)
代理机构 ：
中山市捷凯专利商标代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
石仁
优先权 ：
CN202010322695.0
主分类号 ：
C23C14/56
IPC分类号 ：
C23C14/56 C23C14/54 C23C14/50
相关图片
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/56
连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-09-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/56
申请日 : 20200422
申请日 : 20200422
2020-09-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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