内旋转梁振膜及其组成的传声器芯片
避免重复授权放弃专利权
摘要
本实用新型一种内旋转梁振膜及其组成的传声器芯片,涉及传声器技术,内旋转梁振膜组成的传声器芯片,为电容式传声器芯片,是振膜在上,背极在下的电容式结构。内旋转梁振膜,具有内旋转梁结构,内旋转梁结构柔软,充分的释放残余应力,有效的防止粘连,提高芯片的可靠性;振膜边缘设有无数的小孔,配合背极悬空部分的声孔释放振膜和背极之间原有的牺牲层,并对传声器的声学特性有改善作用;基底作为背极,基底中心有一大孔,作为声孔;振膜边缘与基底构成电容。本实用新型具有高灵敏度、低噪声、频带宽的特性,制作工艺简单,可靠性高,容易批量生产。
基本信息
专利标题 :
内旋转梁振膜及其组成的传声器芯片
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200720149478.6
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2007-06-06
授权号 :
CN201063850Y
授权日 :
2008-05-21
发明人 :
宋青林陶永春庞胜利刘同庆
申请人 :
歌尔声学股份有限公司
申请人地址 :
261031山东省潍坊市高新区东方路北首
代理机构 :
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 :
周国城
优先权 :
CN200720149478.6
主分类号 :
H04R19/01
IPC分类号 :
H04R19/01 H04R19/04
法律状态
2013-03-06 :
避免重复授权放弃专利权
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101526629203
IPC(主分类) : H04R 19/01
专利号 : ZL2007201494786
申请日 : 20070606
授权公告日 : 20080521
放弃生效日 : 20070606
号牌文件序号 : 101526629203
IPC(主分类) : H04R 19/01
专利号 : ZL2007201494786
申请日 : 20070606
授权公告日 : 20080521
放弃生效日 : 20070606
2008-05-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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