一种光谱仪分析试样精确定位装置，其特征是该定位装置由两块透明材质制成的试样定位板构成，每块试样定位板表面标注有同样的水平和垂直的刻度线，在每块试样定位板的相同的位置设有多个和光谱仪不同直径的阳极相对应的小孔，在每块试样定位板的四角相同的位置设有可以穿过螺栓的圆孔。利用本实用新型可以方便地在试样分析面的反面且和待分析的试样点相对应处做上明显的标记，使其应用于用辉光光谱仪或火花直读光谱仪分析试样时对试样激发点进行精确定位。本实用新型主要用于辉光光谱仪对试样进行精确定位，满足小试样、异形试样和微小缺陷部位等的分析，还能用于辉光质谱仪、火花直读光谱仪、激光烧蚀ICP光谱仪、质谱仪等仪器。