本实用新型公开了一种高灵敏度氧化钇铱金灯丝氦质谱检漏仪，包括分子泵、机械泵、集成阀堆、和质谱室等系统，机械泵通过管路与集成阀堆和分子泵连接，由分子泵的抽气口与质谱室连接，其特征在于所述质谱室内离子发生器的灯丝为氧化钇铱金丝，并用鼠笼式栅网去采集电子加压，由一个带角度的引流装置，使离子经过175度非均匀强磁场运动后，最终由离子接收器的接收靶收集离子流。本实用新型使用的氧化钇铱金灯丝为低电压，这样即便灯丝暂时暴露在大气中，也不会烧毁损坏。鼠笼式栅网的采集加压和带角度的引流装置，大大提高了仪器的灵敏度。