本实用新型提供一种工业在线光谱分析仪探头的自动清洁装置，包括探头、安装探头的采样池、工业控制器、测量介质入口管和出口管，还包括氮气瓶，氮气瓶通过带氮气电磁阀的管道与采样池连通，测量介质入口管上设置有测量介质电磁阀，氮气电磁阀和测量介质电磁阀均连接工业控制器，工业控制器控制氮气电磁阀和测量介质电磁阀的开启与关闭。本实用新型能够自动地清洁工业在线光谱分析仪探头，而且无需人工地拆除和重新安装探头，减少因此而产生的污染，减低人工成本并促进生产安全，而且克服了SCS性能的局限性，保证工业在线光谱分析仪探头的清洁性。