基材的检测
授权
摘要
本发明涉及在扫描仪内检测基材表面的系统和方法。
基本信息
专利标题 ：
基材的检测
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN107209199A
申请号 ：
CN201680008520.4
公开（公告）日 ：
2017-09-26
申请日 ：
2016-01-07
授权号 ：
CN107209199B
授权日 ：
2022-04-08
发明人 ：
P·瓦什维斯卡亚E·谢弗S·卡雷
申请人 ：
瑞尔赛特股份有限公司
申请人地址 ：
美国华盛顿州
代理机构 ：
北京派特恩知识产权代理有限公司
代理人 ：
康艳青
优先权 ：
CN201680008520.4
主分类号 ：
G01N35/10
IPC分类号 ：
G01N35/10 G01N21/00 G01N27/00 G01N29/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N35/00
不限于用G01N1/00至G01N33/00中任何单独一组提供的方法或材料所进行的自动分析；及材料的传送
G01N35/10
用于将样品传送给、传送入分析仪器或从分析仪器中输出样品的装置，例如吸入装置、注入装置
法律状态
2022-04-08 ：
授权
2018-11-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 35/10
申请日 : 20160107
申请日 : 20160107
2017-09-26 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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