公开了针对具有贯穿基板的互连和MEMS器件的电子系统的系统、方法和计算机程序产品。一种在具有第一表面和第二表面的基板中形成的互连，所述互连包括：块状区域；从第一表面延伸到第二表面的通孔；延伸穿过第一表面进入基板并且限定围绕通孔的闭环的绝缘结构，其中绝缘结构包括由至少一个实心部分分隔的接缝部分；以及从绝缘结构朝着第二表面延伸的绝缘区域，该绝缘区域将通孔与块状区域分隔，其中绝缘结构和绝缘区域共同提供通孔与块状区域之间的电隔离。