背面入射型受光元件及光模块
授权
摘要
衬底(1)具有表面和与表面相对的背面。在衬底(1)的表面依次层叠有n型层(2)、倍增层(3)、p型电场控制层(4)、光吸收层(5)以及窗口层(6)。在窗口层(6)的一部分形成有p型区域(7)。阳极电极(8)形成于p型区域(7)之上，与p型区域(7)连接。阳极焊盘(9)以及阴极焊盘(10)形成于衬底(1)的背面。第1连接孔(11)以及第2连接孔(12)贯穿衬底(1)。第3连接孔(13)从窗口层(6)贯穿至n型层(2)。阴极焊盘(10)经由第1连接孔(11)与n型层(2)电连接。阳极焊盘(9)经由第2连接孔(12)以及第3连接孔(13)与阳极电极(8)电连接。在衬底(1)的背面具有受光区域(16)。
基本信息
专利标题 ：
背面入射型受光元件及光模块
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109844963A
申请号 ：
CN201680090354.7
公开（公告）日 ：
2019-06-04
申请日 ：
2016-10-28
授权号 ：
CN109844963B
授权日 ：
2022-06-07
发明人 ：
竹村亮太大畠伸夫笹畑圭史山路和树
申请人 ：
三菱电机株式会社
申请人地址 ：
日本东京
代理机构 ：
北京天昊联合知识产权代理有限公司
代理人 ：
何立波
优先权 ：
CN201680090354.7
主分类号 ：
H01L31/10
IPC分类号 ：
H01L31/10
法律状态
2022-06-07 ：
授权
2019-06-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/10
申请日 : 20161028
申请日 : 20161028
2019-06-04 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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