测量图案化装置级的交换劲度的方法
授权
摘要
一种确定存在于磁性结中的自由层的交换劲度的方法。所述方法包括对磁性结执行自旋转矩铁磁共振(ST‑FMR)测量。ST‑FMR测量表示与自由层中的自旋波模式对应的特征频率。所述方法也包括基于多个特征频率计算自由层的交换劲度。在一些实施例中，磁性结存在于包括用于装置的其它磁性结的晶圆上。其它磁性结可以布置为磁性存储器。经受ST‑FMR的磁性结具有与其它磁性结不同的纵横比。
基本信息
专利标题 ：
测量图案化装置级的交换劲度的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN108333539A
申请号 ：
CN201711405905.7
公开（公告）日 ：
2018-07-27
申请日 ：
2017-12-22
授权号 ：
CN108333539B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
伊利亚·克里沃罗托夫罗伯特·比奇沙承岑德米特罗·埃帕尔科夫弗拉基米尔·弗辛亚科
申请人 ：
三星电子株式会社
申请人地址 ：
韩国京畿道水原市
代理机构 ：
北京铭硕知识产权代理有限公司
代理人 ：
尹淑梅
优先权 ：
CN201711405905.7
主分类号 ：
G01R33/12
IPC分类号 ：
G01R33/12 G11C11/16
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R33/00
测量磁变量的装置或仪器
G01R33/12
测量物品的磁性或者固体或流体样品的磁性
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-02-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01R 33/12
申请日 : 20171222
申请日 : 20171222
2018-07-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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