测量图案
公开
摘要
提供了一种用于测量图案的方法、非暂时性计算机可读介质和系统。所述方法可包括：(a)获得样品的区域的电子图像，所述区域包括所述图案，所述电子图像包括多个线；每个线包括通过在扫描线上移动电子束获得的信息；(b)通过对所述电子图像应用降噪内核来生成经转换的图像，所述降噪内核具有代表所述电子图像的连续线数的宽度；所述宽度基于在使用不同宽度的降噪内核时获得的分析结果之间的关系来确定；以及(c)分析所述经转换的图像以提供图案测量。
基本信息
专利标题 ：
测量图案
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114331952A
申请号 ：
CN202111170978.9
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2021-10-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
V·开普兰A·克拉夫特索夫S·哈勒维U·拉瓦特
申请人 ：
应用材料以色列公司
申请人地址 ：
以色列瑞哈佛特市
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
付尉琳
优先权 ：
CN202111170978.9
主分类号 ：
G06T7/00
IPC分类号 ：
G06T7/00 G06T5/00 G06T7/13 G06T7/60
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算；推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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