玻璃基板的制造装置及制造方法
授权
摘要
本发明的玻璃基板的制造装置(10)具备用于向成为玻璃基板的板状玻璃的一方的主表面供给处理气体(Ga)而实施规定的表面处理的表面处理装置(11)。表面处理装置(11)具备：处理气体生成装置(16)；将处理气体(Ga)向板状玻璃的一方的主表面供给的供气通道(17)；对处理气体(Ga)实施除害处理的除害装置(18)；将供给到一方的主表面的处理气体(Ga)向除害装置(18)导入的排气通道(19)；以及向供气通道(17)导入无害气体(Gb)的无害气体导入通道(20)。能够向供气通道(17)的比无害气体导入通道(20)与供气通道(17)的汇合位置(P1)靠下游侧的位置导入无害气体(Gb)和处理气体(Ga)中的任一方。
基本信息
专利标题 ：
玻璃基板的制造装置及制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110088055A
申请号 ：
CN201780079164.X
公开（公告）日 ：
2019-08-02
申请日 ：
2017-11-30
授权号 ：
CN110088055B
授权日 ：
2022-05-27
发明人 ：
山本好晴中塚弘树大野和宏
申请人 ：
日本电气硝子株式会社
申请人地址 ：
日本国滋贺县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
刘影娜
优先权 ：
CN201780079164.X
主分类号 ：
C03C15/00
IPC分类号 ：
C03C15/00 H01L51/50 H05B33/02 H05B33/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C03
玻璃；矿棉或渣棉
C03C
玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合
C03C15/00
纤维和丝之外的蚀刻法玻璃表面处理
法律状态
2022-05-27 ：
授权
2019-09-10 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C03C 15/00
申请日 : 20171130
申请日 : 20171130
2019-08-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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