玻璃基板的制造装置
授权
摘要
本实用新型提供一种玻璃基板的制造装置，该玻璃基板的制造装置能够防止尘埃附着于玻璃基板并制造具有高表面品质的玻璃基板。一种玻璃基板(G)的制造装置(1)，其对在上游被加工的玻璃基板(G)进行清洗并干燥，其中，所述玻璃基板(G)的制造装置(1)具有：对玻璃基板(G)进行清洗的接触清洗部(2)；针对由接触清洗部(2)进行了清洗的玻璃基板进行漂洗工序的冲洗部(3)；以及对在冲洗部(3)中进行了漂洗的玻璃基板(G)进行干燥的干燥部(4)，在干燥部(4)设置用于喷出洁净空气的清洁空气导入单元(34)。
基本信息
专利标题 ：
玻璃基板的制造装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922113113.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-28
授权号 ：
CN211045383U
授权日 ：
2020-07-17
发明人 ：
鉴继薰中塚弘树山本好晴
申请人 ：
日本电气硝子株式会社
申请人地址 ：
日本国滋贺县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
佟胜男
优先权 ：
CN201922113113.3
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2020-07-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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