玻璃基板的制造装置
授权
摘要
提供一种玻璃基板的制造装置，能够在不停止玻璃基板的吸附的状态下将在玻璃基板的吸附时所吸引的液体排出。玻璃基板(G)的制造装置(1)具备具有吸引孔(17)的平台(2)、将吸引孔维持为负压的真空罐(3)、以及对真空罐进行减压的真空泵(13)，通过将吸引孔吸引为负压而将玻璃基板(G)吸附并固定于平台。真空罐具有：第一罐(4)、配置于第一罐的下方的第二罐(5)、将平台与第一罐连通的平台流路(6)、将第一罐与第二罐连通的罐流路(7)、将第一罐与真空泵连通的第一泵流路(8)、将第二罐与真空泵连通的第二泵流路(9)、打开或关闭罐流路的第一控制阀(10)、以及打开或关闭第二泵流路的第二控制阀(11)。
基本信息
专利标题 ：
玻璃基板的制造装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920719227.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-17
授权号 ：
CN209868312U
授权日 ：
2019-12-31
发明人 ：
奥村弘和森伸广
申请人 ：
日本电气硝子株式会社
申请人地址 ：
日本国滋贺县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
刘影娜
优先权 ：
CN201920719227.X
主分类号 ：
B24B41/06
IPC分类号 ：
B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B41/00
磨削机床或装置的部件，比如机架，床身，滑板，床头箱的
B24B41/06
工件支架，如可调中心架
法律状态
2019-12-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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