玻璃基板的制造装置
授权
摘要
提供一种玻璃基板的制造装置，能够抑制液体被吸入真空泵。玻璃基板(G)的制造装置(1)具备：负压维持用罐(3)，其将形成于平台(2)的吸引孔(15)维持为负压；以及真空泵(12)，其使负压维持用罐(3)内部为真空，通过吸引孔(15)的负压，将玻璃基板(G)吸附并固定于平台(2)。负压维持用罐(3)具有：平台连接口(26)，其与平台(2)连通；泵连接口(27)，其配置于平台连接口(26)的上方，并与真空泵(12)连通；以及分隔板(28)，其配置于平台连接口(26)与泵连接口(27)之间，并对负压维持用罐(3)的内部进行分隔。
基本信息
专利标题 ：
玻璃基板的制造装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920719269.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-05-17
授权号 ：
CN209970305U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
奥村弘和森伸广
申请人 ：
日本电气硝子株式会社
申请人地址 ：
日本国滋贺县
代理机构 ：
中科专利商标代理有限责任公司
代理人 ：
刘影娜
优先权 ：
CN201920719269.3
主分类号 ：
B24B7/16
IPC分类号 ：
B24B7/16 B24B41/06
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B24
磨削；抛光
B24B
用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F3/00；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给
B24B7/00
适用于磨削工件平面的机床或装置，包括抛光平面玻璃表面；及其附件
B24B7/10
专用机床或装置（
B24B7/16
用于磨削端面；如量规，辊柱，螺帽，活塞环的端面
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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