一种微坑阵列的制作方法
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摘要

本发明公布了一种微坑阵列的制作方法,包括以下几个步骤:(1)制备磁性胶体粒子悬浮液。(2)在工件表面制备磁性胶体粒子膜。(3)以工件为阳极,在电解槽的阴极和阳极外侧加平行于电极的磁极,磁性胶体粒子在所加磁极产生的磁场作用力下被牢固地压在工件表面上,以表面覆有磁性胶体粒子的工件为阳极,以工件表面上的磁性胶体粒子为掩膜,在磁性胶体粒子之间的间隙中对工件进行电解腐蚀加工。(4)去除磁性胶体粒子,得到微坑结构。本发明利用磁场力对磁性胶体粒子的作用,有效解决了粒子掩膜电解过程中作为掩膜的胶体粒子和基底之间黏附力不足的问题,其掩膜固定方式简单、操作简单,可保证掩膜电解加工微坑阵列工艺地顺利进行。

基本信息
专利标题 :
一种微坑阵列的制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN107999908A
申请号 :
CN201810016919.8
公开(公告)日 :
2018-05-08
申请日 :
2018-01-09
授权号 :
CN107999908B
授权日 :
2022-04-01
发明人 :
秦歌刘凯瑞曲海军闫亮张云燕周奎
申请人 :
河南理工大学
申请人地址 :
河南省焦作市高新区世纪大道2001号
代理机构 :
郑州知一智业专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
郜廷伟
优先权 :
CN201810016919.8
主分类号 :
B23H3/00
IPC分类号 :
B23H3/00  B23H11/00  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23H
用电极代替刀具,以电流高度集中的作用在工件上的金属加工;这种加工与其他方式的金属加工的组合
B23H3/00
电化加工,即在电解液中,在电极和工件之间通过电流除掉金属
法律状态
2022-04-01 :
授权
2018-06-01 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23H 3/00
申请日 : 20180109
2018-05-08 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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