一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜的制备方法

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摘要

本申请公开了一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜制备方法，包括：基片的准备；配制PZT前驱体溶液；PZT薄膜的制备：将前驱体胶体旋涂在基片上，并对薄膜进行热处理和退火处理，重复上述步骤，最终可制备出PZT薄膜；电镀液的配制：将六水合氯化镍和硼酸依次溶解在去离子水中并不断加热搅拌直到充分溶解；Ni应力层的沉积：电镀前预先在PZT薄膜上溅射的金属种子层，然后在金属种子层表面电镀Ni应力层；裂缝的产生：随着电镀时间的增加，PZT薄膜沿着裂缝方向与基片逐渐分离直至完全分开；PZT薄膜的转移：清洗后将其与柔性PET基底粘在一起；柔性PZT薄膜制备完成。本申请通过可控剥离技术制备的柔性PZT薄膜依然保持良好的铁电性能，而且具有良好的机械性能。

基本信息

专利标题：

一种蓝宝石基可控剥离柔性PZT薄膜的制备方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN109768154A

申请号：

CN201811549571.5

公开（公告）日：

2019-05-17

申请日：

2018-12-18

授权号：

CN109768154B

授权日：

2022-05-20

发明人：

何剑丑修建张晶穆继亮耿文平侯晓娟范雪明

申请人：

中北大学

申请人地址：

山西省太原市尖草坪区学院路3号

代理机构：

上海百一领御专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

姜伯炎

优先权：

CN201811549571.5

主分类号：

H01L41/331

IPC分类号：

H01L41/331 H01L41/16 B81B7/02 B81C1/00