本发明涉及一种尤其在借助工作激光束(36)进行焊接、钻孔或刻蚀时用于测量焊接深度的方法，其中，传感器系统(10)的测量光射束(28)在激光加工头(26)中耦入到工作激光束(36)的加工光束路径(30)中并且由加工光束路径(30)的聚焦光具(42)在工件(44)表面上集聚或聚焦成测量光斑。在工件表面上反射的测量光射束(28)反馈给传感器系统(10)的测量和分析评价单元(12)，以便求取关于工件(44)表面距激光加工头(26)的距离的信息。为了得到工件在蒸发毛细管(54)区域中的表面形貌，根据该表面形貌求取蒸发毛细管(54)相对于工作激光束照射点的位置，不仅沿焊接方向、而且在该焊接方向的横向上在工件(44)表面上将测量光斑的位置引导到蒸发毛细管(54)上方。在激光加工时为了测量焊接深度而使测量光斑运动到所求取的蒸发毛细管(54)位置。