利用水蒸气和氧试剂的等离子体减量技术
授权
摘要
本公开内容的实施例涉及用于将存在于半导体制造工艺的流出物中的F‑气体减量的系统及技术。在一个实施例中，提供了一种用于等离子体减量系统的水及氧输送系统。水及氧输送系统包含壳体，所述壳体包括底板及多个侧壁，所述底板及多个侧壁界定封围区域。水及氧输送系统进一步包含圆柱状水箱，圆柱状水箱安置于底板上，其中圆柱状水箱的纵轴平行于由底板界定的平面，且水箱的长度是圆柱状水箱的直径的1.5倍或更大。水及氧输送系统进一步包含流量控制系统，流量控制系统安置于壳体内的圆柱状水箱的上方。
基本信息
专利标题 ：
利用水蒸气和氧试剂的等离子体减量技术
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110291611A
申请号 ：
CN201880011021.X
公开（公告）日 ：
2019-09-27
申请日 ：
2018-01-30
授权号 ：
CN110291611B
授权日 ：
2022-05-17
发明人 ：
科林·约翰·迪金森
申请人 ：
应用材料公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律诚同业知识产权代理有限公司
代理人 ：
徐金国
优先权 ：
CN201880011021.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-05-17 ：
授权
2019-10-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20180130
申请日 : 20180130
2019-09-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
