本实用新型公开了一种活性氧等离子体气体处理装置，包括气体收集器、气体处理腔、气管和粗效过滤器，所述气管的一端连接气体收集器，一端连接气体处理腔，所述粗效过滤器设于气体处理腔的前端，还包括分子激发单元和高压高频电源，所述分子激发单元包括H型电极板和V型电极板，所述高压高频电源分别与H型电极板和V型电极板电连接；所述气体处理腔的后部设有一个排气用的风机；所述高压高频电源为直流电源，电压为12000V，电流为50mA；所述H型电极板和V型电极板的电场间隙20mm。本实用新型取得的有益效果是：快速有效的对恶臭气体和废气进行处理，并将恶臭气体和废气降解为二氧化碳、水等无害物质。