具有高分辨率的电子束设备
授权
摘要
磁枪透镜及静电枪透镜可用于电子束设备且可有助于在扫描电子显微镜、检查及/或检验使用中为所有可用电子束电流提供高分辨率。提取射束可使用所述磁枪透镜通过射束限制孔径而导引在晶片处。所述电子束还可在所述电子束通过所述射束限制孔径之后通过静电枪透镜。
基本信息
专利标题 ：
具有高分辨率的电子束设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111051985A
申请号 ：
CN201880050630.6
公开（公告）日 ：
2020-04-21
申请日 ：
2018-07-24
授权号 ：
CN111051985B
授权日 ：
2022-05-03
发明人 ：
姜辛容C·西尔斯
申请人 ：
科磊股份有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京律盟知识产权代理有限责任公司
代理人 ：
刘丽楠
优先权 ：
CN201880050630.6
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20 G03F1/20
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-05-03 ：
授权
2020-08-28 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20180724
申请日 : 20180724
2020-04-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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