用于估计重叠的方法
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摘要
本发明提供了一种用于确定重叠的方法。该方法包括获得涉及第一目标集合的初始重叠估计和关于第二目标集合的数据，其中针对目标的数据包括针对不同波长的组中的每一个波长的该目标的强度测量。该方法进一步包括使用该初始重叠估计对涉及第二目标集合的数据进行滤波，并且使用经滤波的数据来估计衬底上的重叠。
基本信息
专利标题 ：
用于估计重叠的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111095110A
申请号 ：
CN201880058190.9
公开（公告）日 ：
2020-05-01
申请日 ：
2018-08-20
授权号 ：
CN111095110B
授权日 ：
2022-04-22
发明人 ：
A·斯塔杰
申请人 ：
ASML荷兰有限公司
申请人地址 ：
荷兰维德霍温
代理机构 ：
北京市金杜律师事务所
代理人 ：
郑振
优先权 ：
CN201880058190.9
主分类号 ：
G03F7/20
IPC分类号 ：
G03F7/20
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G03
摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F
图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F7/00
图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备
G03F7/20
曝光及其设备
法律状态
2022-04-22 ：
授权
2020-05-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G03F 7/20
申请日 : 20180820
申请日 : 20180820
2020-05-01 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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