确定器件制造工艺的控制参数的方法

授权

摘要

本文中公开了一种用于确定制造工艺的一个或多个控制参数的方法，该制造工艺包括光刻工艺和一个或多个另外的工艺，该方法包括：获取衬底的至少一部分的图像，其中该图像包括通过制造工艺而被制造在衬底上的至少一个特征；取决于从图像确定的轮廓，计算一个或多个图像相关度量，其中图像相关度量中的一项是至少一个特征的边缘位置误差EPE；以及取决于边缘位置误差，确定光刻工艺和/或一个或多个另外的工艺的一个或多个控制参数，其中至少一个控制参数被确定以便最小化至少一个特征的边缘位置误差。

基本信息

专利标题：

确定器件制造工艺的控制参数的方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111149063A

申请号：

CN201880062857.2

公开（公告）日：

2020-05-12

申请日：

2018-08-22

授权号：

CN111149063B

授权日：

2022-04-22

发明人：

W·T·特尔M·J·马斯洛K·范因根·舍瑙P·沃纳尔A·斯拉克特R·阿努西亚多S·H·C·范戈尔普F·斯塔尔斯M·乔彻姆森

申请人：

ASML荷兰有限公司

申请人地址：

荷兰维德霍温

代理机构：

北京市金杜律师事务所

代理人：

董莘

优先权：

CN201880062857.2

主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

G03F7/20