复合传感器及其制作方法
授权
摘要
本发明提供一种复合传感器及其制作方法，复合传感器包括：第一基材，及与所述第一基材层叠设置第二基材；位于所述第一基材的压力传感器，用于感知外界压力的变化；位于所述第二基材中的加速度传感器，用于感知加速度的变化；其中，所述压力传感器的压力膜与所述第二基材间隔设置，形成压力腔，所述加速度传感器的质量块与所述第一基材间隔设置，形成第一防撞腔。以使减小芯片面积及减小相互之间的干扰。
基本信息
专利标题 ：
复合传感器及其制作方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111780899A
申请号 ：
CN201910272024.5
公开（公告）日 ：
2020-10-16
申请日 ：
2019-04-04
授权号 ：
CN111780899B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
李森林
申请人 ：
合肥杰发科技有限公司
申请人地址 ：
安徽省合肥市望江西路800号创新产业园A3楼10层
代理机构 ：
深圳市威世博知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
钟子敏
优先权 ：
CN201910272024.5
主分类号 ：
G01L1/20
IPC分类号 ：
G01L1/20 G01L1/00 G01P15/00
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/20
通过测量固体材料或导电流体欧姆电阻变化；应用动力电池，即施加应力后会产生或改变其电位的液体电池
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2021-03-16 ：
专利申请权、专利权的转移
专利申请权的转移IPC(主分类) : G01L 1/20
登记生效日 : 20210304
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 合肥杰发科技有限公司
变更后权利人 : 武汉杰开科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 230000 安徽省合肥市望江西路800号创新产业园A3楼10层
变更后权利人 : 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来科技城C3栋6楼（自贸区武汉片区）
登记生效日 : 20210304
变更事项 : 申请人
变更前权利人 : 合肥杰发科技有限公司
变更后权利人 : 武汉杰开科技有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 230000 安徽省合肥市望江西路800号创新产业园A3楼10层
变更后权利人 : 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道999号未来科技城C3栋6楼（自贸区武汉片区）
2020-11-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/20
申请日 : 20190404
申请日 : 20190404
2020-10-16 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN111780899A.PDF
PDF下载
