湿度感测器及其制造方法
授权
摘要
本发明提供一种湿度感测器及其制造方法。湿度感测器包含一基板、一电极结构及一湿度感测结构。电极结构设置于基板上。湿度感测结构设置于电极结构上。湿度感测结构包含第一湿度感测层及第二湿度感测层。第一湿度感测层直接接触电极结构并具有一第一氧缺陷数。第二湿度感测层设置于第一湿度感测层上并具有一第二氧缺陷数，其中第二氧缺陷数多于第一氧缺陷数。本发明的湿度感测器具有良好的灵敏度，能够在制程中更精细地监控车间的环境湿度。
基本信息
专利标题 ：
湿度感测器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110530934A
申请号 ：
CN201910807063.0
公开（公告）日 ：
2019-12-03
申请日 ：
2019-08-29
授权号 ：
CN110530934B
授权日 ：
2022-05-10
发明人 ：
涂煜杰
申请人 ：
业成科技（成都）有限公司;业成光电（深圳）有限公司;英特盛科技股份有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区西区合作路689号
代理机构 ：
成都希盛知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨冬梅
优先权 ：
CN201910807063.0
主分类号 ：
G01N27/12
IPC分类号 ：
G01N27/12
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N27/00
用电、电化学或磁的方法测试或分析材料
G01N27/02
通过测试阻抗
G01N27/04
通过测试电阻
G01N27/12
与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻
法律状态
2022-05-10 ：
授权
2019-12-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01N 27/12
申请日 : 20190829
申请日 : 20190829
2019-12-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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