一种直接氟化协同等离子体对材料表面进行改性的装置
授权
摘要
本发明公开了一种直接氟化协同等离子体对材料表面进行改性的装置，包括装置主体，装置主体内设有封闭廊道，封闭廊道的上游设置有等离子体活化单元，封闭廊道的下游设置有直接氟化单元，直接氟化单元和等离子体活化单元之间通过自适应开启式隔离软帘密封连接。本发明装置通过将直接氟化和等离子体处理相结合，根据表面功能化要求合理匹配放电等离子体和表面直接氟化，大幅度降低了氟气的使用量和使用条件，提高了等离子体表面改性效果的时效性和稳定性，改善“疏水性恢复现象”。
基本信息
专利标题 ：
一种直接氟化协同等离子体对材料表面进行改性的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN110718438A
申请号 ：
CN201910927704.6
公开（公告）日 ：
2020-01-21
申请日 ：
2019-09-27
授权号 ：
CN110718438B
授权日 ：
2022-04-12
发明人 ：
赵妮常正实
申请人 ：
西安理工大学;西安交通大学
申请人地址 ：
陕西省西安市金花南路5号
代理机构 ：
北京国昊天诚知识产权代理有限公司
代理人 ：
杨洲
优先权 ：
CN201910927704.6
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 B01J19/08 B01J15/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2022-04-12 ：
授权
2020-02-21 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/32
申请日 : 20190927
申请日 : 20190927
2020-01-21 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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