热载流子注入效应的寿命评估方法、装置和计算机设备

授权

摘要

本申请涉及一种热载流子注入效应的寿命评估方法、装置和计算机设备，其中一种热载流子注入效应的寿命评估方法，可针对SOI器件的自热效应，降低环境温度来进行热载流子注入试验，使得SOI器件在进行热载流子注入试验时的工作温度可以保持在目标温度，进而在进行寿命评估时能够消除自热效应对待测SOI器件热载流子注入效应的影响，提高了输出的寿命时间的可靠性和准确性，对SOI器件的可靠性寿命时间评估方法进行修正与应用，有助于提高工艺加工过程中的SOI器件的热载流子可靠性。

基本信息

专利标题：

热载流子注入效应的寿命评估方法、装置和计算机设备

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111060794A

申请号：

CN201911134386.4

公开（公告）日：

2020-04-24

申请日：

2019-11-19

授权号：

CN111060794B

授权日：

2022-05-13

发明人：

何玉娟章晓文

申请人：

中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））

申请人地址：

广东省广州市天河区东莞庄路110号

代理机构：

广州华进联合专利商标代理有限公司

代理人：

张彬彬

优先权：

CN201911134386.4

主分类号：

G01R31/26

IPC分类号：

G01R31/26 H01L21/66

IPC结构图谱

G部——物理

G01

测量；测试

G01R

测量电变量；测量磁变量

G01R31/26

•单个半导体器件的测试

法律状态

2022-05-13 ：

授权

2020-06-02 ：

著录事项变更

IPC(主分类) : G01R 31/26
变更事项 : 申请人
变更前 : 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
变更后 : 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
变更事项 : 地址
变更前 : 510610 广东省广州市天河区东莞庄路110号
变更后 : 511300 广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号

2020-05-19 ：

实质审查的生效

IPC(主分类) : G01R 31/26
申请日 : 20191119

2020-04-24 ：

公开

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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