一种微纳结构透镜衍射效率测试装置与方法
授权
摘要
本发明提供了一种微纳结构透镜衍射效率测试装置与方法，包括：激光光束经过扩束准直系统形成平行光束；分光单元将平行光束分为两束，一束进入参考探测系统，一束垂直入射待测微纳结构透镜；测试探测系统设置在待测透镜焦面位置，采集衍射光能量；为提高测量精度，采用双光路方式，利用参考探测系统采集的信号实时修正测试光束的光能量，抑制光源功率波动的影响。将扩束准直系统、分束单元集成在电控二维运动机构的光学台面上，使出射光束随光学台面移动对待测微纳结构透镜进行扫描，满足对微纳结构透镜全口径范围的衍射效率测试。
基本信息
专利标题 ：
一种微纳结构透镜衍射效率测试装置与方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111006854A
申请号 ：
CN201911351518.9
公开（公告）日 ：
2020-04-14
申请日 ：
2019-12-25
授权号 ：
CN111006854B
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
刘盾汪利华杨伟吴时彬范斌
申请人 ：
中国科学院光电技术研究所
申请人地址 ：
四川省成都市双流350信箱
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201911351518.9
主分类号 ：
G01M11/02
IPC分类号 ：
G01M11/02
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01M
机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试
G01M11/02
•光学性质测试
法律状态
2022-04-19 ：
授权
2020-05-08 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01M 11/02
申请日 : 20191225
申请日 : 20191225
2020-04-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
