一种光滑表面缺陷的检测装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种光滑表面缺陷的检测装置，包括支架、样品架、上相机、下相机和光源，样品架、上相机、下相机和光源分别安装在支架上，上相机位于样品架的上方，下相机位于样品架的下方，样品架上设有轴向中空的支撑圈，光源照射在样品架上的待测元件上形成明场或局部暗场。本实用新型适用于球面、非球面、透明和非透明光滑表面缺陷的检测，适应性好；检测装置结构简单，对相机的像素要求低，成本低，检测精度高，进一步，还可同时实现对待测元件上下表面的检测，检测效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种光滑表面缺陷的检测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920400379.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-03-27
授权号 ：
CN210119453U
授权日 ：
2020-02-28
发明人 ：
王善忠黄胜弟
申请人 ：
爱丁堡（南京）光电设备有限公司;南京波长光电科技股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江宁区湖熟工业集中区波光路18号
代理机构 ：
南京中律知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李建芳
优先权 ：
CN201920400379.3
主分类号 ：
G01N21/95
IPC分类号 ：
G01N21/95 G01N21/958
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N21/00
利用光学手段，即利用亚毫米波、红外光、可见光或紫外光来测试或分析材料
G01N21/84
专用于特殊应用的系统
G01N21/88
测试瑕疵、缺陷或污点的存在
G01N21/95
特征在于待测物品的材料或形状
法律状态
2020-02-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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